localscrubber流程

處理流程:電熱+熱交換器+冷卻水(可無水處理) Thermal-Wet type scrubber can remove harmful gases from process which through high temperature heating ...

原理. 利用填充物所產生的巨大接觸面積，氣體與藥液充分密切接觸，產生化學中和作用，使空氣達到洗淨效果。 · 特色. ◎處理效率高 · 適用範圍. ◎各種有害氣體，H2S、SO2、HF ...

Local Scrubber 濕式洗滌設備-吸附式尾氣處理設備 · 1. 在晶圓廠和光電廠己證實能高效處理PM 2.5之微粒子，微粒子捕捉效率>90%，傳統灑水式<10% · 2. 吸入口負壓值高(-11~- ...

理設備（Local Scrubber），經由電熱水洗. 式、燃燒水洗式、電漿水洗式等特殊設備 ... 空氣汙染防制處理流程. 汙染物來源. 水洗式（廠務端）. 水洗式（製程端）. 冷凝式.

2014年6月14日 — 1.Local Scrubber設備駐廠維護人員。 · 2.半導體廠務Local Scrubber相關設備之維護、保養及故障排除。 · 3.協助廠務Local Scrubber設備之異常分析、改善、 ...

由 吳麗霞 著作 · 2005 — 本文研究對象為電熱水洗式Local Scrubber，利用高溫750℃加熱裂解. CVD、Dyr Etch 製程所產生的氣體，再以水洗方式吸收受高溫裂解的廢氣，經. 水霧吸收、洗滌及降低溫度後以 ...

由 吳麗霞 著作 · 2005 — 位於製程尾氣處理設備Local Scrubber. 前、後端的FTIRs 分別利用ㄧ台抽氣馬達將製程尾氣引進FTIR 的氣體腔(Gas cell)，經紅外光照射後，尾氣再排至同類製程之製程尾氣處理 ...

由 鐘侑民 著作 — Local Scrubber，是以高級氧化程序(Advanced Oxidation Processes, AOPs)為核心技術，搭配. 過濾系統、UV 系統、觸媒系統、離子交換系統等，設計出項針對高科技廠Local ...